
PVDチタン合金スプッティングターゲット
詳細情報 |
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材料: | ジルコニウムZr702 | プロセス: | 造られる |
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サイズ: | カスタマイズされる | 適用: | PVDのコーティング、装飾的なコーティング |
密度: | 6.506g/cm3 | 形: | 円形、版、管の放出させるターゲット |
結晶粒度: | 微粒子のサイズ | 純度: | 99.5%、99.95% |
ハイライト: | 高い純度の金属の放出させるターゲット,ジルコニウムの放出させるターゲット,Zr702放出させるターゲット |
製品の説明
高い純度の金属の放出させるターゲット
ジルコニウムは酸素のための大きい類縁の活動的な金属であり、多数の腐食性の環境で有能である場合もあることを酸化膜の優秀な耐食性は定める。
3. ジルコニウムに200℃の下で硝酸でよい耐食性が90%以下ある。但し、硝酸のジルコニウムの応力腐食割れの感受性は注意されるべきである。
4.ジルコニウムは集中のすべての腐食性ソーダ解決の腐食に対して抵抗力がある。耐食性はタンタル、ニオブおよびチタニウムを超過する。
ジルコニウムの放出させるターゲットの適用
半導体の使用のための最大級密度のジルコニウムの放出させるターゲットそして最も小さく可能な平均結晶粒度、化学気相堆積(CVD)および物理的な蒸気沈殿(PVD)表示および光学適用。
サイズ:
版の放出させるターゲット:
厚さ:0.04から1.40」(1.0から35mm)。
幅20"まで(50から500mm)。
長さ:6.56フィート(100-2000mm)への3.9"
要求される他のサイズ。
シリンダー放出させるターゲット:
3.94 Dia. X 1.58」(100 Dia. X 40mm)
2.56 Dia. X 1.58」(65 Dia. X 40mm)
または63*32mm要求される他のサイズ。
管の放出させるターゲット:
2.76 OD X 0.28の重量x 39.4" L (70 OD X L) 7つの重量x 1000mm
3.46 OD X 0.39の重量x 48.4" L (88 OD X L) 10の重量x 1230mm
要求される他のサイズ。
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