Al 35%のチタニウム65%の放出させるターゲット チタニウム アルミニウム

製品の説明

放出させるターゲット チタニウム アルミニウム

アルミニウム チタニウム（AlTi）の合金の放出させるターゲットはHIPの技術によって作り出され、用具のコーティングおよび装飾的なコーティングで広く利用されている。溶けるプロセスと比較されて、HIPプロセスによって準備されるTiAlターゲットに均一顕微鏡の内部構造およびさまざまなマグネトロンの放出させる機械およびイオン コータのために適しているより小さい結晶粒度がある。PVDプロセスでは、エンド ユーザーは一定した腐食率および高い純度および均一薄膜のコーティングを得ることができる。

チタニウムのアルミ合金 ターゲットの工程の研究のレポートに従って国内外で、ターゲット チタニウム アルミニウムを放出させる主要な準備の技術は現在下記のものを含んでいる:高い現在の加熱法、熱い地殻均衡押す焼結方法および高温圧縮の焼結方法。

私達の放出させるターゲット チタニウム アルミニウムは彼等の普及した原因である:

高い延性

高い熱伝導性

同質な微細構造

物質的な純度の打ち負かされないレベル

幾何学の-回転式か平面アークの陰極か平面の放出させるターゲットものは何でも:私達はあなたの適用のために完全である注文仕立てターゲットを供給してもいい。

1.高い現在の加熱法

学者1は高輝度の流れを通してチタニウム アルミニウム合金ターゲットを作り出すための方法を発明した。この方法は使用しチタニウムの粉およびアルミニウム粉を熱するのに高く現在使用しアルミニウムを作る圧力を適用し、大きい流れを得ることができるチタニウムは独自で反応する装置を。チタニウムのアルミ合金 ターゲットは形作られる。この方法により準備されるチタニウムのアルミ合金 ターゲット プロダクトの密度は>99%である、結晶粒度は≤100ミクロンであり、純度は>99%である。チタニウムのアルミ合金 ターゲットの構成の範囲は次のとおりである:チタニウムの内容5% ~75% （原子比率）、および残りはアルミニウム内容である。この方法に十分に大規模な工業生産の条件を満たすことができる高いプロダクト密度ある、および安価が。この準備方法は大きい流れを得ることができる装置を要求する。肯定的で、否定的な電極は伝導性および圧力伝送機能がある必要があり高温に柔らかくなることへのよい伝導性、靭性および抵抗、等持つべきである。従ってプロセス条件を満たし、安定したがある大きい現在の装置があることができるかどうか、性能は準備方法へキーである。

2. 熱い地殻均衡押す焼結方法

学者2はチタニウムのアルミ合金 ターゲットの粉末や金の準備方法を発明した。この方法はチタニウムの粉およびアルミニウム粉を混合し、次に粉のローディングおよび冷たい地殻均衡押す事前圧縮のガスを抜くプロセスを経、次に熱する。流体静力学に押すことは形作られ、最終的に焼結し、そしてチタニウムのアルミ合金 ターゲットを得るために処理される。この方法により準備されるチタニウムのアルミ合金 ターゲットに高密度の特徴が、気孔率、気孔率および分離、均一構成および良い結晶粒ない。チタニウムのアルミ合金 ターゲット プロダクトの密度をである≥99%準備した、純度は>99%である、結晶粒度は≤100ミクロンであり、最高の指定のサイズは1,000のmmに達することができる。チタニウムのアルミ合金 ターゲットの構成の範囲は次のとおりである:チタニウムの内容20% | 80% （原子比率は）、および残りアルミニウム内容である。熱い地殻均衡押す方法は現在コーティングの企業によって必要なチタニウムのアルミ合金の放出させるターゲットを準備するための主要な方法である。この方法により準備されるターゲット プロダクトは密で、サイズの指定の広い範囲が、この方法要求する主に押す使用をおよび焼結装置、高い熱い地殻均衡押す焼結炉どんなにあり、準備されたターゲット プロダクトの高い費用をもたらす、産業化を促進することは困難である。

3. 高温圧縮の焼結方法

学者3は等チタニウムのアルミ合金 ターゲットのための急速な高温圧縮の焼結プロセスを発明した。このプロセスはチタニウム アルミニウム粉が熱および力の結合された行為の下で焼結することを可能にする。チタニウムAlの混合物のアルミニウムの低い融点がチタニウムのアルミ合金を減らすのに使用されている。粉は合金の放出させるターゲットを形作るために一緒に結ばれる。焼結する高温圧縮の図式的な図表は図2.で示されている。

放出させるターゲット チタニウム アルミニウム映像:

この方法により準備される合金ターゲットに高密度（≥95%）、小さい結晶粒度（≤100ミクロン）、およびユニフォームの構成がある。異なった構成が付いているチタニウム アルミニウム合金ターゲットはこのプロセスによって準備することができる。チタニウム アルミニウム合金は構成の範囲を次のとおりである目標とする:チタニウムの内容は25%から75% （原子比率）であり、残りはアルミニウム内容である。プロセスは短く、安価、よく大規模な産業化の条件を満たすことができる効果に塗る。

このプロセスの特徴は真空の堅い型を通して圧力を移すことであるまたは材料が熱および力の結合された行為の下で、および2つのステップはプロセス効率を非常に改善できる1つのステップに焼結し、形作られるように結合される、常温圧縮および焼結の保護大気。

このプロセスに装置のための高い条件があり、主装置は熱押す焼結炉である。準備されたターゲットは≤100 mmの直径が付いている合金ターゲットのあたりに主にある。さらに高いアルミニウム内容が付いているチタニウム アルミニウム合金ターゲットを準備するのに、このプロセスが使用されている。現時点で、困難なdemoldingおよび低い型の耐用年数の問題がある。各ターゲット準備プロセスはターゲットの生産費を増加する一組の型を消費する。従って、収穫および型の性能を改善するために適した離型剤を選ぶことは必要である。稼働率。

現在、焼結する熱い出版物はチタニウムのアルミ合金の放出させるターゲットのための最も潜在的な準備の技術である。この技術に高いプロセス効率があり、工業生産のために適している。但し、チタニウムのアルミ合金の放出させるターゲットを準備するために焼結する熱い出版物の使用はdemold、低い型の耐用年数の問題に困難である。各ターゲット準備プロセスはターゲットの生産費を増加する一組の型を消費する。チタニウムのアルミ合金の焼結プロセスでは、チタニウムは高い融点の堅い段階に属し、アルミニウムは接着段階に属する。高アルミニウム チタニウム アルミニウム合金粉の焼結プロセスの間に、チタニウム原子を一緒に結び、最終的に合金ターゲットを形作ることができるlow-meltingアルミニウムは次第に溶ける。但し、アルミニウム液体およびグラファイト型のぬれる角度は鈍角であり、アルミニウム内容がチタニウムのアルミ合金もっとなら、より困難高温圧縮の後にdemoldにであり焼結し、冷却する。従って、高アルミニウム チタニウムのアルミ合金 ターゲットの高温圧縮の焼結の準備プロセスは型の収穫そして稼働率を改善するために適したはく離剤を選ぶ必要がある。

さらに、高温圧縮の焼結プロセスの焼結の温度に、暖房率および高温圧縮圧力にプロダクトの最終的な構造そして性能の大きい影響がある。その中で、高い融点に堅い段階をする焼結を焼結させる固相から液体段階への転移を骨組崩壊もたらし、コストの削減を促さない、力およびエネルギーを無駄にする焼結の温度は余りに高い、;さらに、焼結の温度が余りに高ければ、により目標資料の放出させるコーティングの性能を減らす第2段階の結晶粒の成長をおよび増加および成長引き起こす。ターゲット結晶粒が余りに大きければ、放出させる表面は放出させることの間に消費され、放出させるターゲットで現われる腐食の部品の表面のでこぼこは形作られた合金のフィルムのフィルム厚さの均等性の減少に終って、増加する。力が大きい時、小さいアークの増加の異常な排出の頻度、および生じるはねかかること。同時に、基質と比較されて、第2段階に悪い放出させる効率があり、また放出させるフィルムの均等性に影響を与える突起として残るためにが本当らしい。ターゲット プロダクトの不完全な焼結および低密度で起因する焼結の温度は余りに低い。熱する率が高温圧縮プロセスの間に速ければ、仕事の効率は改善することができるが区域の一部分が最初に焼結するので、接着段階は目標資料に終って、不均等な構成の最終的な問題流れる。高圧また効率を改善できるしかし同時ににより深刻な型は型の耐用年数を身に着け、減らす。

要約すると、焼結する熱い出版物はチタニウムのアルミ合金の放出させるターゲットのための最も潜在的な準備の技術である。この技術に高いプロセス効率があり、工業生産のために適している。この技術によるチタニウムのアルミ合金 ターゲットの準備は繰り返された試験および選択を要求する。離型剤は型の歩留まり率そして稼働率を改善できる。同時に、焼結の高温圧縮プロセス状態（焼結の温度、暖房率、高温圧縮圧力）を最大限に活用し、生産の効率を改善し、コストを削減することは必要である。中国の漸進的な大衆化の急速な放出させるコーティングの成長および傾向によって、放出させるコーティング ターゲットのための市場の需要はまた毎年急速に増加している。従って、チタニウムのアルミ合金 ターゲットの準備の技術の研究に実用的な重大さおよび大きい適用見通しがある。